| 发明名称 |
PIEZOELEKTRISCHES STELLELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT370520(T) |
申请公布日期 |
2007.09.15 |
| 申请号 |
AT20020013415T |
申请日期 |
2002.06.12 |
| 申请人 |
PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG |
发明人 |
WISCHNEWSKIY, WLADIMIR |
| 分类号 |
H01L41/09;H01L41/04;H02N2/00;H02N2/02 |
主分类号 |
H01L41/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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