CREATION METHOD AND CONVERSION METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM WRITING DATA, AND WRITING METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM,申请号KR20060085265-传众专利搜索

发明名称	CREATION METHOD AND CONVERSION METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM WRITING DATA, AND WRITING METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号	KR100758777(B1)	申请公布日期	2007.09.14
申请号	KR20060085265	申请日期	2006.09.05
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;H01L21/82	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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