发明名称 ATOMIC LAYER DEPOSITION METHODS OF FORMING SILICON DIOXIDE COMPRISING LAYERS
摘要
申请公布号 KR100758758(B1) 申请公布日期 2007.09.14
申请号 KR20067005133 申请日期 2006.03.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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