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发明名称 ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS
摘要 Ion sources, systems and methods are disclosed.
申请公布号 WO2007067316(A3) 申请公布日期 2007.09.13
申请号 WO2006US44440 申请日期 2006.11.15
申请人 ALIS CORPORATION;WARD, BILLY W.;NOTTE IV, JOHN A.;FARKAS III, LOUIS S.;PERCIVAL, RANDALL G.;HILL, RAYMOND;MARKWORT, LARS;ADERHOLD, DIRK 发明人 WARD, BILLY W.;NOTTE IV, JOHN A.;FARKAS III, LOUIS S.;PERCIVAL, RANDALL G.;HILL, RAYMOND;MARKWORT, LARS;ADERHOLD, DIRK
分类号 H01J37/28;B81B1/00;G01N23/225;G12B21/02;H01J9/02;H01J27/26;H01J37/08;H01J37/252;H01J37/305;H01J37/317 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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