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发明名称 Dünne ferroelektrische Schicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE60315247(D1) 申请公布日期 2007.09.13
申请号 DE20036015247 申请日期 2003.08.18
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 LEE, YONG-KYUN;LEE, JUNE-KEY;PARK, YOUNG-SOO
分类号 C04B35/491;H01L21/316;C01G23/00;C01G25/00;C01G29/00;C04B35/624;H01B3/00;H01B3/12;H01L21/8246;H01L27/105 主分类号 C04B35/491
代理机构 代理人
主权项
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