发明名称 |
Bewegungssensor |
摘要 |
Die Erfindung geht aus von einem Bewegungssensor mit einem Substrat (2) wenigstens mit einem mikromechanischen Beschleunigungssensor (3) und einer magnetoresistiven Schaltung (6). Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der mikromechanische Beschleunigungssensor (3) und die magnetoresistive Schaltung (6) auf demselben Substrat (2) aufgebaut sind.
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申请公布号 |
DE102006010484(A1) |
申请公布日期 |
2007.09.13 |
申请号 |
DE200610010484 |
申请日期 |
2006.03.07 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
FISCHER, FRANK;SONNEMANN, MARKUS |
分类号 |
B81B7/02;G01P15/105;G01P15/18;H01L43/08 |
主分类号 |
B81B7/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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