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发明名称
HALTERUNGSSYSTEM EINSETZBAR ÜBER EINEN BREITEN TEMPERATURBEREICH
摘要
申请公布号
DE602004003365(T2)
申请公布日期
2007.09.13
申请号
DE200460003365T
申请日期
2004.05.06
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES INC.
发明人
WANG, ALBERT
分类号
H01L21/00;C23C16/458
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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