HIGH TEMPERATURE PRESSURE SENSOR ELEMENT, PARTICULARLY FOR MEASURING PRESSURES INSIDE JET ENGINES, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF AND COMPONENT FOR JET ENGINES

摘要

Ein Hochtemperatur-Drucksensorelement (10; 20), insbesondere für Triebwerke, umfasst ein Substrat (11), in dem ein Innenraum (12) ausgestaltet ist, eine verformbare Membran (13), die den Innenraum (12) vom Außenraum trennt, um sich im Betrieb bei einer Änderung des äußeren Druckes zu verformen, und ein Dehnungsmesselement (14a, 14b, 14c), das auf der Membran (13) angeordnet ist, zur Messung der Verformung der Membran (13). Das Substrat (11), die Membran (13) und das Dehnungsmesselement (14a, 14b, 14c) sind aus demselben hochtemperaturstabilen Material gefertigt, insbesondere aus einer Legierung, beispielsweise einer Nickelbasislegierung. Ein Bauteil für ein Triebwerk, wie zum Beispiel eine Turbinenschaufel für ein Flugzeug oder Raketentriebwerk, umfasst ein integriertes derartiges Hochtemperatur- Drucksensorelement (10; 20).