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经营范围
发明名称
HEIZELEMENT FÜR EINEN CVD-APPARAT
摘要
申请公布号
DE60124674(T2)
申请公布日期
2007.09.13
申请号
DE20016024674T
申请日期
2001.09.07
申请人
JAPAN AS REPRESENTED BY PRESIDENT OF JAPAN ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;ANELVA CORP.
发明人
MATSUMURA, HIDEKI;MASUDA, ATSUSHI;ISHIBASHI, KEIJI;TANAKA, MASAHIKO;KARASAWA, MINORU
分类号
H01L21/205;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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