发明名称 HEIZELEMENT FÜR EINEN CVD-APPARAT
摘要
申请公布号 DE60124674(T2) 申请公布日期 2007.09.13
申请号 DE20016024674T 申请日期 2001.09.07
申请人 JAPAN AS REPRESENTED BY PRESIDENT OF JAPAN ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY;ANELVA CORP. 发明人 MATSUMURA, HIDEKI;MASUDA, ATSUSHI;ISHIBASHI, KEIJI;TANAKA, MASAHIKO;KARASAWA, MINORU
分类号 H01L21/205;C23C16/24;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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