基板清洁装置、基板工艺设备及基板清洁装置的清洁方法

摘要

本发明公开一种基板清洁装置、基板工艺设备及基板清洁装置的清洁方法，该装置包含一内室、一出气装置、一气体供应装置、一栅门以及一第一挡板，该内室具有一输入口与一输出口，以分别用于输入/输出一待加工材料。该出气装置具有一用以对该待加工材料吹送气体的气体出口。该气体供应装置用以供应该气体出口所吹送的气体。该栅门可于该输入口输入该待加工材料时开启。该第一挡板设置于该栅门的上方用以防止自该待加工材料上溅起的液体越过该栅门，且该第一挡板的第一侧设有一用以接引该液体的沟槽。本发明可有效地防止由该待加工材料表面溅起的液体喷溅至未经清洁处理的待加工材料表面，从而提高液晶显示器面板的良率，也可提高该液体的回收率。

主权项

1、一种基板清洁装置，其特征在于，包含：一内室，其具有一输入口与一输出口；一出气装置，其具有一气体出口设于该输出口上方；一气体供应装置，与该出气装置连结，并用以供应该气体出口所吹送的气体；一栅门，其设置于该输入口处；以及一第一挡板，其设置于该栅门的上方，该第一挡板具有一第一平面且与该栅门间呈一第一角度，该第一平面的第一侧设有一沟槽。