表面状态的检查方法以及表面状态检查装置

摘要

本发明提供一种即使在被检查面包含相互曲率不同的部位时、也能够对整个被检查面基于镜面反射光像而执行的检查的表面状态的检查方法以及表面状态检查装置。在本发明中，固定配置照相机1、可出射沿照相机1的光轴的照明光的照明装置2，并将检查对象的工件W安装在六轴机械臂(3)的前端臂部(35)而实施检查。在检查之前的准备模式中，为了将工件W的被检查面分割成多个拍摄对象区域而进行拍摄而决定工件W的位置和姿势，进而对所生成的图像决定检查对象区域。这时，以包含在被检查面中的任何部位一定会出现在一个或者两个以上图像的检查对象区域内、且任何图像的检查对象区域也会包含在镜面反射光像区域内的方式进行设定。

主权项

1.一种表面状态的检查方法，分多次分别拍摄对象物的被检查面而得到镜面反射光像，并对通过上述拍摄而生成的图像进行处理，从而检查上述被检查面的状态，其中，上述对象物表面的一部分或者全部被作为上述被检查面，其特征在于，上述对象物的被检查面包含具有相互不同的曲率的部位，上述拍摄是利用被固定的照明装置以及照相机在以能够改变上述对象物的位置和姿势的方式支撑着上述对象物的状态下执行的，作为用于依次检查具有同样形态的多个对象物的准备，分别执行：决定对一个对象物进行上述多次拍摄时对象物对应于各拍摄而应取的位置和姿势的处理；以及，决定通过上述拍摄而生成的图像中的检查对象区域的处理，从而生成表示所决定的内容的设定信息，针对上述各对象物的检查的执行是基于与上述对象物应取的位置和姿势有关的设定信息，在支撑着对象物并使对象物处于上述所决定的位置和姿势的状态下执行上述多次拍摄，并对通过各拍摄而生成的图像进行处理，用于上述检查的准备是以将通过上述多次拍摄而生成的各图像中应得到镜面反射光像的区域或者其中所包含的一部分区域作为上述检查对象区域、且使上述被检查面上的任意部位的图像包含在通过上述多次拍摄而生成的多个图像中的至少一个图像的检查对象区域中的方式，决定上述对象物的位置和姿势以及检查对象区域。