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经营范围
发明名称
ANNEAL WAFER MANUFACTURING METHOD AND ANNEAL WAFER
摘要
申请公布号
EP1343200(A4)
申请公布日期
2007.09.12
申请号
EP20010270902
申请日期
2001.12.11
申请人
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD
发明人
HAYAMIZU, YOSHINORI;TOBE, SATOSHI;KOBAYASHI, NORIHIRO
分类号
C30B29/06;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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