发明名称 ANNEAL WAFER MANUFACTURING METHOD AND ANNEAL WAFER
摘要
申请公布号 EP1343200(A4) 申请公布日期 2007.09.12
申请号 EP20010270902 申请日期 2001.12.11
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD 发明人 HAYAMIZU, YOSHINORI;TOBE, SATOSHI;KOBAYASHI, NORIHIRO
分类号 C30B29/06;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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