测试装置、测试方法、电子设备、以及设备生产方法

摘要

本发明提供一种测试装置，对包含场效应晶体管的电子设备进行测试，且该测试装置包括：电源，供给电子设备驱动用的电力；图案产生部，依次产生并供给多个测试图案，所述多个测试图案应供给到电子设备中；泄漏电流检测部，对场效应晶体管的泄漏电流进行检测；电压控制部，对施加到设置着场效应晶体管的衬底的衬底电压进行控制，以使由泄漏电流检测部所检测的泄漏电流成为规定的值；以及电源电流测定部，在每次施加各个测试图案时，对输入到电子设备中的电源电流进行测定，并根据经测定的电源电流来判定电子设备的良否。

主权项

1.一种测试装置，对电子设备进行测试，所述电子设备设置着根据所给予的测试图案来运行的场效应晶体管，其特征在于所述测试装置包括：电源，供给所述电子设备驱动用的电力；图案产生部，依次产生并供给多个所述测试图案，多个所述测试图案应供给到所述电子设备中；泄漏电流检测部，对所述场效应晶体管的泄漏电流进行检测；电压控制部，对施加到设置着所述场效应晶体管的衬底的衬底电压进行控制，以使由所述泄漏电流检测部所检测的所述泄漏电流维持规定的值；以及电源电流测定部，在每次施加各个所述测试图案时，对输入到所述电子设备中的电源电流进行测定，并根据经测定的所述电源电流来判定所述电子设备的良否。