发明名称 |
具有传感器芯片和电路芯片的物理量传感器 |
摘要 |
一种物理量传感器包括:电路芯片(200);以及通过粘合层(300)配置在电路芯片(200)上的传感器芯片(100)。传感器芯片(100)包括:支持衬底(11);可移动电极(24);以及面对可移动电极(24)/其间具有检测距离的一对固定电极(31,41)。可移动电极(24)和固定电极(31,41)配置在衬底(11)上。粘合层(300)包括非粘合区(310-312)以及导电部件(320)。非粘合区(310-312)配置在通过将传感器芯片(100)投影到电路芯片(200)上获得的区域上。导电部件(320)配置在非粘合区(310-312)中,用于电连接在电路芯片(200)和衬底(11)之间。 |
申请公布号 |
CN100337093C |
申请公布日期 |
2007.09.12 |
申请号 |
CN200510007074.9 |
申请日期 |
2005.02.07 |
申请人 |
株式会社电装 |
发明人 |
五藤敬介 |
分类号 |
G01D5/241(2006.01);G01P15/125(2006.01) |
主分类号 |
G01D5/241(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
韩宏 |
主权项 |
1.一种物理量传感器,包括:电路芯片(200);以及通过粘合层(300),配置在所述电路芯片(200)上的传感器芯片(100),其中,所述传感器芯片(100)包括:支持衬底(11);在所述衬底(11)的水平方向上可移动的可移动电极(24);以及面对所述可移动电极(24)、其间具有检测距离的一对固定电极(31,41),所述传感器芯片(100)能根据所述可移动电极(24)的位移,在所述检测距离的距离变化的基础上,检测施加到所述传感器的物理量,所述可移动电极(24)和所述固定电极(31,41)配置在所述衬底(11)上,所述粘合层(300)包括非粘合区(310-312)和导电部件(320),所述非粘合区(310-312)配置在通过将所述传感器芯片(100)投影到所述电路芯片(200)上所获得的区域上,以及所述导电部件(320)配置在所述非粘合区(310-312)中,用于电连接在所述电路芯片(200)和所述衬底(11)之间。 |
地址 |
日本爱知 |