PLASMA SURFACE TREATMENT METHOD AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD,申请号EP20020708589-传众专利搜索

发明名称	PLASMA SURFACE TREATMENT METHOD AND DEVICE FOR CARRYING OUT SAID METHOD
摘要
申请公布号	EP1374276(B1)	申请公布日期	2007.09.12
申请号	EP20020708589	申请日期	2002.03.26
申请人	APIT CORP. SA	发明人	KOULIK, PAVEL;SAMSONOV, MICKHAIL;CHEREPANOV, ALEXANDER;PETROV, EVGUENII
分类号	H01J37/32;H05H1/24;B08B7/00;B65D23/02;B65D23/08;B65D25/34;H01L21/304;H01L21/3065	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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