小型电容耦合等离子反应器/生成器及方法

摘要

说明了一种用于气体等离子体反应器/生成器的小型电容耦合电极结构。该电极结构包括一对平行板阳极和阴极，其位置限定了气体流动路径或空间。在阳极和阴极之间插入了导电翼片组件，这些翼片组件实质上提高了电极表面积与容积之比，并将气流路径或空间进行再分，从而实际上提高了在大范围工作参数下的等离子气体处理效率，而没有实际增大阳极和阴极之间的距离。还介绍了静止和闭合操作。还说明了实现基本电极结构的多阳极/多阴极电极装置，以及应用该组合的小型气体等离子反应器/生成器。

主权项

1.一种气体等离子体反应器，其包括：一个限定了内部空间的并且有一个进气口和出气口的反应器小室；一个电极装置，其与所述进气口和所述出气口一起置于所述空间中，该电极装置适合于由所述进气口向所述出气口输入气流，所述电极装置包括：多个阳极和阴极，每个具有多个相邻的阳极和阴极表面，其中所述相邻的阳极和阴极表面彼此相对并且互相分离以限定气流流动的曲折路径；所述阳极具有共同电连接并且所述阴极具有共同电连接；并且多个与所述阳极和所述阴极的相对表面相连的导电翼片组件，并且所述导电翼片组件其插入到所述空间从而分割所述曲折的流动路径；一种将电源与所述电极装置连接在一起的电连接器。