膜厚测量装置

摘要

本发明提供一种膜厚测量装置，通过简单的构成，对长带状或长大形的检查试样容易、且准确地进行膜厚的测量。该膜厚测量装置用于对于在聚酯薄膜(11)上形成导电性薄膜的检查试样测量该导电性薄膜的膜厚。其包括：检查头(10)，在辊式检查部(2)中，面对上述聚酯薄膜(11)的表面，在相隔设定的间隙的状态下被保持；以及隔离膜(14)，在介于上述聚酯薄膜(11)的导电性薄膜和上述检查头(10)之间的状态下，被设置在辊式检查部(2)的外周上，同时直接或者间接地接触上述导电性薄膜，并将该导电膜和上述检查头(10)之间的间隔保持为设定的间隔。

主权项

1.一种膜厚测量装置，对于在基材上形成导电性薄膜的检查试样，测量该导电性薄膜的膜厚，其特征在于，包括：检查头，相对于所述检查试样的表面，在相隔设定的间隔的状态下保持所述检查头；以及隔离膜，介于所述检查试样的导电性薄膜和所述检查头之间，同时，通过与所述导电性薄膜直接或者间接地接触，而将该导电性薄膜和所述检查头之间的间隔保持为设定的间隔。