| 发明名称 | 激光辐射设备 | ||
| 摘要 | 一种激光辐射设备包括多个激光头，激光从其中被辐射出，激光头的排列间隔可被调节，并且激光头自由地移动以沿着目标的外形辐射激光。激光振荡器用于振荡激光。多个激光头用于直线地辐射被所述激光振荡器振荡的激光。第一驱动装置用于调节所述激光头的排列间隔，并且沿着X方向移动所述激光头。第二驱动装置用于沿着不同于X方向的Y方向移动所述激光头。 | ||
| 申请公布号 | CN101033111A | 申请公布日期 | 2007.09.12 |
| 申请号 | CN200710008214.3 | 申请日期 | 2007.01.25 |
| 申请人 | 三星SDI株式会社 | 发明人 | 郑炳铉;车裕敏;郑元雄;鲁莲九 |
| 分类号 | C03B23/20(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L51/56(2006.01) | 主分类号 | C03B23/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;李云霞 |
| 主权项 | 1、一种激光辐射设备，包括：激光振荡器，用于振荡激光；多个激光头，用于直线地辐射被所述激光振荡器振荡的激光；第一驱动装置，用于调节所述激光头的排列间隔，并且沿着X方向移动所述激光头；第二驱动装置，用于沿着不同于X方向的Y方向移动所述激光头。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道水原市 | ||