| 发明名称 |
REAGENT SUPPLY VESSEL FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0953064(B1) |
申请公布日期 |
2007.09.12 |
| 申请号 |
EP19970953275 |
申请日期 |
1997.12.17 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
BOUCHARD, FRED |
| 分类号 |
B65D83/00;C23C16/00;B01J4/00;B67D7/02;B67D7/32;C23C16/448;C23C16/52 |
主分类号 |
B65D83/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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