悬臂式电阻湿度感测结构及其制法

摘要

本发明公开一种悬臂式电阻的湿度感测结构及其制法，该结构包括：一基板，具有第一表面及第二表面，该第一及第二表面经氧化制程形成一第一及第二氧化层，且具有一贯穿该第一及第二氧化层的开口，并在该开口中保留形成有一悬臂；一电阻感应层，形成于该基板的该悬臂上；以及一湿度感应层，形成于该电阻感应层上。本发明可直接提供转换成的湿度数据，简化了产品结构，免除了电容式感应必须使用两个相对电极层导致的结构复杂及成本增加的缺失，再者使该电阻感应层及湿度感应层位于悬臂上，可形成用于感测环境的湿度的结构，一道制作流程即可完成，简化制程，提高了产品良率及降低成本。

主权项

1.一种悬臂式电阻湿度感测结构的制法，其特征在于，该制法包括：提供一基板，具有第一表面及第二表面；该基板的该第一表面及第二表面经氧化制程形成一第一及第二氧化层；在该基板的该第一氧化层形成一电阻感应层；在该电阻感应层上形成一湿度感应层；以及在该基板形成一贯穿该第一氧化层及该第二氧化层的开口，并在该开口中保留形成一悬臂，使该基板的悬臂上具有该湿度感应层及该电阻感应层。