| 主权项 |
1.一种奈米颗粒与微/奈米结构接合之制作方法,包 括有下列步骤: 提供一表面具有微/奈米结构之模仁; 将该模仁放入一含有钻石奈米颗粒之溶液中,且于 该溶液中与模仁相对应位置并另设有一电极; 于该模仁与该电极之间施加一预定电压,使溶液中 的钻石奈米颗粒利用电泳朝向该模仁,并沉积附着 于模仁之表面微/奈米结构上;以及 经一钻石膜沉积方式,使电泳沉积附着于该微/奈 米结构表面之钻石奈米颗粒长成奈米钻石膜。 2.如申请专利范围第1项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之材质系为金属材质。 3.如申请专利范围第3项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之材质系为钛、钼和镍其中之一。 4.如申请专利范围第1项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之材质系为非金属材质。 5.如申请专利范围第4项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之材质系为石英、氧化铝、碳化矽其 中之一。 6.如申请专利范围第4项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之表面更具有一导电物质。 7.如申请专利范围第1项所述之制作方法,其中,该 微/奈米结构之材质系为矽、氮化镓、砷化镓和磷 化铟其中之一。 8.如申请专利范围第1项所述之制作方法,其中,该 钻石膜沉积方式是选自电浆辅助化学气相沉积法( plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)、热灯丝法 、DC电浆法与RF电浆法其中之一。 9.如申请专利范围第1项所述之制作方法,其中,该 溶液系可为乙醇与丙醇其中之一。 10.一种奈米颗粒与微/奈米结构接合之系统,包括 有: 一溶液,于该溶液中具有复数个钻石奈米颗粒; 一电极,设于该溶液中; 一模仁,具有一微/奈米结构之表面,且该表面置于 该溶液中;以及 一直流电源,连接该微/奈米结构与该电极,可对该 微/奈米结构与该电极施加一预定电压,并使得该 钻石奈米颗粒朝向该表面电泳且附着其上;其中 该些钻石奈米颗粒是经由一钻石膜沉积方式,使电 泳沉积附着于该微/奈米结构表面之钻石奈米颗粒 长成奈米钻石膜。 11.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之材质系为金属材质。 12.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之材质系为钛、钼和镍其中之一。 13.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之材质系为非金属材质。 14.如申请专利范围第13项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之材质系为石英、氧化铝、碳化矽其中 之一。 15.如申请专利范围第13项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之表面更具有一导电物质。 16.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该微/ 奈米结构之材质系为矽、氮化镓、砷化镓和磷化 铟其中之一。 17.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该钻石 膜沉积方式是选自电浆辅助化学气相沉积法(plasma -enhanced chemical vapor deposition, PECVD)、热灯丝法、DC 电浆法与RF电浆法其中之一。 18.如申请专利范围第10项所述之系统,其中,该溶液 系为乙醇与丙醇其中之一。 图式简单说明: 图一系为本发明之可将奈米颗粒与微/奈米结构接 合之系统之较佳实施例。 图二系为本发明之奈米颗粒与微/奈米结构接合之 制作方法的流程图。 图三系为具有模仁保护层之微/奈米结构。 |
