| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области электроники, а более конкретно к устройствам формирования наноструктур на подложке. В основу полезной модели положена техническая задача - уменьшить тепловой дрейф атомов и молекул при формировании наноструктур на подложке. Поставленная техническая задача решается тем, устройство формирования наноструктур на подложке, содержащее многозондовый пьезопривод, установленный на неподвижном основании, зонд, подложку, установленную на неподвижном подложкодержателе, согласно предложенной полезной модели, снабжено связанными с нерабочей поверхностью подложки средством для предварительного нагрева подложки и средством для охлаждения подложки. Средство для предварительного нагрева подложки выполнено в виде источника импульсного нагрева. Средство для охлаждения подложки выполнено в виде узла подачи жидкого азота на нерабочую поверхность подложки. Технический результат, обеспечиваемый всей совокупностью существенных признаков, заключается в уменьшении теплового дрейфа атомов и молекул при формировании наноструктур на подложке.</p> |
