| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области электроники, более конкретно к пьезоприводам для нанотехнологии. В основу полезной модели положена техническая задача - повысить виброустойчивость и нестабильный тепловой режим его работы. Поставленная техническая задача решается тем, что в пьезоприводе для нанотехнологии, содержащем пьезоэлементы, жестко связанные между собой посредством металлических пластин; закрепленный на одном торце пьезопривода зонд, электрически связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, другой торец пьезопривода жестко связан с неподвижной платформой, согласно предложенной полезной модели, пьезоэлементы выполнены в форме колец; внутренний объем пьезопривода заполнен высокодиссипативным полимерным компаундом, например, полиуретаном, по крайней мере один элемент в форме кольца жестко связан с круглой металлической пластиной, в центральном отверстии металлических пластин неподвижно установлен зонд, внутренняя полость которого также заполнена высокодиссипативным полимерным компаундом (например, стеклотекстолитом), причем полость зонда и внутренний объем пьезопривода связаны между собой. Применение предлагаемого пьезопривода для нанотехнологии позволяет повысить виброустойчивость пьезопривода и обеспечить стабильный тепловой режим его работы.</p> |
