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经营范围
发明名称
VERTICAL HANDLER AND OPERATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR100756369(B1)
申请公布日期
2007.09.10
申请号
KR20040037131
申请日期
2004.05.25
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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