发明名称 DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE DOTE DE TRANSISTORS SURMONTES D'UNE COUCHE PIEZOELECTRIQUE
摘要
申请公布号 FR2888990(B1) 申请公布日期 2007.09.07
申请号 FR20050052279 申请日期 2005.07.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL 发明人 LOLIVIER JEROME;VINET MAUD;POIROUX THIERRY
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L27/108;H01L41/00 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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