ACTIONNEUR ELECTROSTATIQUE, DISPOSITIF COMPORTANT DE TELS ACTIONNEURS, MICROSYSTEME COMPORTANT UN TEL DISPOSITIF ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL ACTIONNEUR
摘要
申请公布号
FR2887537(B1)
申请公布日期
2007.09.07
申请号
FR20050051733
申请日期
2005.06.23
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL
