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发明名称
摘要
申请公布号 JP2007525813(A) 申请公布日期 2007.09.06
申请号 JP20050513128 申请日期 2003.12.04
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8242;H01L29/423 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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