| 发明名称 |
Eine Vorrichtung und ein Verfahren, um ein Gas in einem Lagerungskontainer zu ersetzen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602005001721(D1) |
申请公布日期 |
2007.09.06 |
| 申请号 |
DE20056001721T |
申请日期 |
2005.04.20 |
| 申请人 |
MIRAIAL CO. LTD. |
发明人 |
NAKANO, RYUICHI;HYOBU, YUKIHIRO;OKAMOTO, YOSHIHISA |
| 分类号 |
H01L21/68;B65B31/04;B65D81/20;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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