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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichthalbleiterbauelements über einer TCO-Elektrodenschicht
摘要
申请公布号 DE19516446(B4) 申请公布日期 2007.09.06
申请号 DE1995116446 申请日期 1995.05.04
申请人 SHELL SOLAR GMBH 发明人 UFERT, KLAUS-DIETER
分类号 H01L21/205;C23C16/02;C23C16/24;H01L31/04;H01L31/18;H01L31/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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