发明名称 EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EINGEBETTETEN VERTIKAL-DRAM-ZELLEN UND LOGIKGATES MIT ZWEIFACHER ARBEITSFUNKTION
摘要
申请公布号 DE60129605(D1) 申请公布日期 2007.09.06
申请号 DE20016029605 申请日期 2001.11.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GRUENING, ULRIKE;DIVAKARUNI, RAMACHANDRA;MANDELMAN, JACK;RUPP, THOMAS
分类号 H01L21/00;H01L27/10;H01L21/8242 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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