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发明名称
EIN VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EINGEBETTETEN VERTIKAL-DRAM-ZELLEN UND LOGIKGATES MIT ZWEIFACHER ARBEITSFUNKTION
摘要
申请公布号
DE60129605(D1)
申请公布日期
2007.09.06
申请号
DE20016029605
申请日期
2001.11.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES NORTH AMERICA CORP.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.
发明人
GRUENING, ULRIKE;DIVAKARUNI, RAMACHANDRA;MANDELMAN, JACK;RUPP, THOMAS
分类号
H01L21/00;H01L27/10;H01L21/8242
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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