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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100755051(B1) 申请公布日期 2007.09.06
申请号 KR20010037226 申请日期 2001.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;A47L13/20;A47L13/24;A47L13/38 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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