发明名称 Verfahren zur Vorbereitung eines grossflächigen Substrats
摘要
申请公布号 DE602005001710(D1) 申请公布日期 2007.09.06
申请号 DE200560001710T 申请日期 2005.02.17
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. 发明人 SHIBANO, YUKIO;KUSABIRAKI, DAISUKE;UEDA, SHUHEI;WATABE, ATSUSHI
分类号 B24C1/00;B24C7/00 主分类号 B24C1/00
代理机构 代理人
主权项
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