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发明名称
Verwendung eines spektroskopischen Ellipsometers
摘要
申请公布号
DE60217989(T2)
申请公布日期
2007.09.06
申请号
DE20026017989T
申请日期
2002.04.16
申请人
HORIBA LTD.
发明人
KANZAKI, TOYOKI
分类号
G01B11/06;G01N21/21;G01J3/447;G01J4/04
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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