Vorrichtung zur schnellen, quantitativen, kontaktlosen topografischen Untersuchung von Halbleiterscheiben oder spiegelähnlichen Oberflächen
摘要
申请公布号
DE60212987(T2)
申请公布日期
2007.09.06
申请号
DE20026012987T
申请日期
2002.10.01
申请人
HUNGARIAN ACADEMY OF SCIENCES RESEARCH INSTITUTE FOR TECHNICAL PHYSICSAND MATERIALS SCIENCE;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
