发明名称
摘要
申请公布号 JP3970689(B2) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 JP20020156605 申请日期 2002.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/808;H01L29/861 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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