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经营范围
发明名称
Method for forming inorganic thin film pattern on polyimide resin
摘要
申请公布号
KR100755192(B1)
申请公布日期
2007.09.05
申请号
KR20050129719
申请日期
2005.12.26
申请人
发明人
分类号
G03F7/00;H01L21/027
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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