DEVICE FOR DEPOSITING THIN LAYERS WITH A WIRELESS DETECTION OF PROCESS PARAMETERS,申请号EP20030742525-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR DEPOSITING THIN LAYERS WITH A WIRELESS DETECTION OF PROCESS PARAMETERS
摘要
申请公布号	EP1479056(B1)	申请公布日期	2007.09.05
申请号	EP20030742525	申请日期	2003.02.15
申请人	AIXTRON AG	发明人	BAUMANN, PETER;STRAUCH, GERD;SCHUMACHER, MARCUS;FRANKEN, WALTER
分类号	C23C14/54;G08C17/02;C23C16/458;C30B25/16;C23C16/52	主分类号	C23C14/54
代理机构		代理人
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