| 发明名称 | 用于在集成光学部件中削尖波导Y分支的角的制造方法 | ||
| 摘要 | 制造用于集成光学器件、光子晶体器件或用于微型器件中的光波导的基本尖的角的方法。首先使用光刻图案化和垂直蚀刻形成诸如圆角(28)等的非尖角。接着，使用各向同性蚀刻削尖该圆角。可使用监控器确定圆角(28)是否通过各向同性蚀刻充分削尖。 | ||
| 申请公布号 | CN100335924C | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN02807043.7 | 申请日期 | 2002.01.25 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | X·王;F·莱昂 |
| 分类号 | G02B6/125(2006.01);G02B6/136(2006.01);G02B6/132(2006.01) | 主分类号 | G02B6/125(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 肖春京;章社杲 |
| 主权项 | 1、一种方法，包括：在一材料上光刻图案化出光波导路径，该光波导路径包括第一分支、第二分支以及第一分支与第二分支相交处的角；基于所述光刻图案各向异性地蚀刻所述材料的部分，以获得确定所述角的所述材料的区域；以及从所述材料的区域各向同性地蚀刻所述材料的另外部分，以削尖所述角。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||