发明名称 PLASMA TREATMENT OF LARGE-SCALE COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1704756(B1) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 EP20050706679 申请日期 2005.01.14
申请人 DR. LAURE PLASMATECHNOLOGIE GMBH 发明人 LAURE, STEFAN
分类号 H05H1/46;C23C16/509;H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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