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发明名称 Dual beam system
摘要
申请公布号 EP1501115(A3) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 EP20040076891 申请日期 2004.07.01
申请人 FEI COMPANY 发明人 HILL, RAY;SANFORD, COLIN;DIMANNA, MARK;TANGUAY, MICHAEL;SCIPIONI, LAWRENCE
分类号 H01J37/141;H01J37/30;H01J37/02;H01J37/08;H01J37/10;H01J37/26;H01J37/28 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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