发明名称 AMORPHOUS OXIDE AND FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要 A novel amorphous oxide applicable, for example, to an active layer of a TFT is provided. The amorphous oxide comprises microcrystals.
申请公布号 KR20070090182(A) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 KR20077012791 申请日期 2005.11.09
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA;TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 SANO MASAFUMI;NAKAGAWA KATSUMI;HOSONO HIDEO;KAMIYA TOSHIO;NOMURA KENJI
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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