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发明名称 GATE VALVE APPARATUS, PROCESSING SYSTEM AND METHOD OF EXCHANGING A SEAL MEMBER
摘要
申请公布号 KR100756110(B1) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 KR20050123697 申请日期 2005.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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