步进电机驱动型位移促动器的控制检测方法及其装置

摘要

天文望远镜步进电机驱动型位移促动器的检测方法，步骤如下：将位移促动器固定在微位移实验室的减震测试平台上，并在该位移促动器上设置轴向力和侧向力的弹簧加力模拟负载和被测棱镜；由工控机输出脉冲数和方向指令，驱动位移促动器的步进电机；在恒温20.0℃下，空气洁净度为千分级以下，利用双频激光干涉仪对位移促动器上的被测棱镜进行采样，并记录数据；上述记录数据传给激光器读出系统及计算机，由计算机完成对位移促动器的性能测试的计算。本发明的方法及装置实现了纳米级的控制检测。检测结果表明位移促动器的分辨率≤2nm，具有良好的单向重复性，位移精度(包括执行元件和电控)RMS≤50nm，能满足控制工程中的要求。

主权项

1、一种步进电机驱动型位移促动器的检测方法，步骤如下：将位移促动器固定在微位移实验室的减震测试平台上，并在该位移促动器上设置轴向力和侧向力的弹簧加力模拟负载和被测棱镜；由工控机输出脉冲数和方向指令，驱动位移促动器的步进电机；在恒温20.0℃下，空气洁净度为千分级以下，利用双频激光干涉仪对位移促动器上的被测棱镜进行采样，并记录数据；上述记录数据传给激光器读出系统及计算机，由计算机完成对位移促动器的性能测试的计算。