发明名称
摘要
申请公布号 JP3972183(B2) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 JP20020061469 申请日期 2002.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L25/18;H01L23/12;H01L23/28;H01L25/10;H01L25/11 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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