| 发明名称 | 用于集成电路单元的真空保持器 | ||
| 摘要 | 一种用于支撑一组集成电路单元(65)的支撑装置，所述装置包括：支撑构件，该支撑构件具有金属表面，该金属表面包括凹口(27)阵列；软材料层，该软材料层覆盖金属表面的凹口，以便保护该单元(65)不会因为与金属表面相接触而被损害；以及真空装置(35)，该真空装置与所述凹口(27)相连通，这样真空装置将每个单元支撑在各自的凹口中，其中软材料层由多个独立的插入物(40)形成，每个插入物能够通过使用接合装置(50，55)而与至少一个凹口相接合，其中所述接合装置用于接合每个插入物(40)与至少一个凹口(27)。 | ||
| 申请公布号 | CN101031994A | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN200580032712.0 | 申请日期 | 2005.07.19 |
| 申请人 | 洛克系统有限公司 | 发明人 | 杨海春 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);B25J15/06(2006.01);B25B11/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王新华 |
| 主权项 | 1.一种用于支撑一组集成电路单元的支撑装置，所述装置包括：支撑构件，所述支撑构件具有金属表面，所述金属表面具有凹口阵列；软材料层，所述软材料层覆盖所述金属表面的凹口，以保护所述单元使其不会因为与金属表面相接触而被损害；以及真空装置，所述真空装置与所述凹口连通，从而所述真空装置将每个单元支撑在各自的凹口内，其中所述软材料层由多个独立的插入物形成，每个插入物能够通过使用接合装置而与至少一个凹口相接合，其中所述接合装置用于接合每个插入物与至少一个凹口。 | ||
| 地址 | 新加坡商业中心 | ||