| 摘要 |
<p>Использование: в области измерительной техники, для измерения ускорений подвижных объектов, в частности в инерциальных системах навигации.</p>
<p>Сущность изобретения: микромеханический осевой акселерометр содержит корпус, выполненный в виде платы из диэлектрического материала, инерционную массу, выполненную в виде пластины из кремния, расположенную с зазором относительно корпуса и связанную с ним через упругие перемычки, обеспечивающие перемещение инерционной массы вдоль измерительной оси, лежащей в ее плоскости, датчик силы, датчик перемещений, электронную схему обработки сигналов, токоподводы, опорные элементы. В каждом из двух опорных элементов выполнены по две сквозные прорези, в каждой из которых размещены упругие перемычки. В каждом опорном элементе выполнены по два упора, размещенных внутри дополнительных сквозных прорезей, выполненных в инерционной массе. Обеспечивается увеличение диапазона измерений, а также повышение надежности и поперечной жесткости. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.</p> |
