发明名称 Halvledare samt anordning och förfarande för framställning av en halvledare
摘要
申请公布号 FI20075141(A) 申请公布日期 2007.08.24
申请号 FI20070005141 申请日期 2007.02.23
申请人 PICODEON LTD OY, 发明人 RUUTTU,JARI;LAPPALAINEN,REIJO;MYLLYMAEKI,VESA;PULLI,LASSE;MAEKITALO,JUHA
分类号 C23C14/28;H01L21/00 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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