发明名称 CMP-POLIERZUSAMMENSETZUNG FÜR METALL
摘要
申请公布号 DE60124404(T2) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 DE20016024404T 申请日期 2001.06.14
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORP. 发明人 WANG, SHUMIN;GRUMBINE, K.;STREINZ, C.;HOGLUND, W.
分类号 B24B37/00;C09G1/00;C09G1/02;C09K3/14;C09K13/04;C09K15/20;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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