| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung angeregter und/oder ionisierter Teilchen in einem Plasma aus einem Prozessgas, die einen Generator zur Erzeugung einer elektromagnetischen Welle, einen Hohlleiter und eine Gasentladungskammer, mit einem Gasentladungsraum, in dem die angeregten und/oder ionisierten Teilchen gebildet werden, und mit einem Dielektrikum, in dem der Gasentladungsraum ausgebildet ist, wobei die Gasentladungskammer innerhalb des Hohlleiters angeordnet ist, aufweist. Um möglichst große Mikrowellenleistungen verwenden zu können und gleichzeitig eine lange Standzeit zu erreichen, bildet das Dielektrikum eine stirnseitige Basis aus, von der unter Bildung des Gasentladungsraums Seitenwände abgehen. Ferner ist die elektromagnetische Welle in die stirnseitige Basis einkoppelbar.</p> |
