发明名称 Frequenzdetektor
摘要
申请公布号 DE69936551(D1) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 DE19996036551 申请日期 1999.02.19
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 MATSUMOTO, TOSHIYUKI;HIROTA, YOSHIHIRO;HARADA, MUNEO;MIYANO, TAKAYA
分类号 G01D5/24;H04R15/02;G01D5/241;G01H11/06;G01L9/12;G01R27/26;H04R5/04 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
主权项
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